高功率大能量紫外激光在镀膜、半导体/显示器件制造、超精密冷加工等领域具有重要应用。目前主要采用紫外准分子激光器，国内外正在大力研发紫外固体激光技术，具有电光效率高、体积小、寿命长、使用方便、综合成本低等优势，是激光技术研究的难点和热点。

中国科学院理化所先进激光课题组基于1064 nm Nd:YAG激光二倍频产生532nm绿激光再和频产生355 nm紫外激光的技术路线，2026年9月突破了热近非稳谐振腔激光振荡、高效率低波前畸变多级行波放大、高效紫外变频、高抗损伤紫外激光薄膜制备等关键技术，成功研制出355 nm紫外脉冲固体激光器样机，输出平均功率312W、单脉冲能量625mJ、重复频率500Hz、脉冲宽度28ns、功率不稳定度1.1%@1h，综合指标达国际先进水平。后续将进一步开展紫外激光与相关材料相互作用研究，实现在镀膜、退火、精密加工等领域的应用。