理化所先进激光技术与应用课题组一直致力于高功率固体激光及其频率变换技术研究，近期，课题组基于Nd:YAG激光三倍频产生紫外激光的技术路线，突破了高功率纳秒调Q脉冲振荡、低波前畸变行波放大、紫外强激光薄膜制备、高抗损伤高稳定性紫外变频等系列关键技术，研制出百瓦级大能量纳秒脉冲紫外固体激光器样机。该样机通过了专家组现场测试，获得355nm激光平均功率138.8W、单脉冲能量达180mJ、脉冲宽度26.6ns、重复频率800Hz，连续工作8h功率不稳定度<1.8%，综合指标达到国内领先、国际先进。

该百瓦级大能量纳秒脉冲紫外固体激光器在超精密冷加工、激光退火、激光镀膜、激光掺杂等领域具有重要应用。