近日，以中科院理化技术研究所段宣明研究员任首席科学家申报的“光子束超衍射纳米加工技术及应用基础研究”项目通过了科技部国家重大研究计划评审，批准科研经费为2400万元。项目研究团队由中科院理化技术研究所、国家纳米科学中心、中科院半导体研究所、南开大学等单位组成。

　　新型纳米加工技术的研究是目前国际上关注的热点，是纳米技术、特别是纳米器件获得应用所必须解决的重要问题之一。纳米器件尺寸小型化、结构多样化、集成高度化的发展趋势要求纳米加工技术不仅具有纳米量级的加工分辨能力，而且也能够实现包括从二维到三维的复杂纳米结构的加工与器件制备。该项目将围绕超越传统光学理论衍射极限的限制实现纳米尺度的加工分辨率这一核心科学问题，通过对纳米尺度下光与物质相互作用机理研究，建立实现纳米尺度加工的新型光子束加工原理、方法；利用可见及近红外激光的高密度光子束实现超越衍射极限的加工分辨率、进行纳米结构加工；建立具有应用前景的低成本、高效率光子束超衍射纳米加工技术新体系。

　　根据研究方式、研究思路和研究对象的不同，本项目针对光子束超衍射纳米加工原理的基础研究，光子束超衍射纳米加工的工艺创新、关键技术基础研究与平台研制，功能材料纳米结构制备工艺创新与特性的相关基础研究，纳米器件制备工艺创新与应用探索等方面设立了4个课题。

　　项目团队将围绕上述课题，以光与物质相互作用的多种物理效应为出发点，发展光子束超衍射纳米加工新原理、新方法与新技术，探索其在纳米器件制备中的应用，建立相应的纳米加工技术新体系，为纳米结构与纳米器件制备与应用提供具有自主知识产权的核心技术。该项目的部署，对于提升我国在纳米结构加工与纳米器件制备领域的自主创新能力、满足国家经济发展战略的重大需求、促进我国纳米技术的应用及相关产业技术能力的提高与发展具有十分重要的战略意义。