仪器型号：Orion NanoFab 

　　生产厂家：Carl Zeiss，USA

　　操作方式：管理人员与用户操作相结合  

　　放置地点：1号楼104最里面一间

　　服务时间：周一至周五，8:00-17:00  

　　管理人员：田利丰 

　　联系方式：010-82543460/3526；tianlifeng@mail.ipc.ac.cn    

　　仪器简介：氦、氖、镓三束离子显微镜利用氦、氖、镓三种离子作为成像和加工粒子，可对样品表面进行高分辨率扫描成像和精细微纳加工。由于离子可以聚焦成很小的探点，并且不会像电子束在试样探测区产生散射，因此可形成高分辨率的图像，观察得更细微的表面结构。主要技术指标：视野范围：900μm~100nm @ 8mm工作距离。图像分辨率与加工能力：氦离子束：成像分辨率0.5nm；束流0.1~10pA；切割线宽≤10nm；氖离子束：成像分辨率1.9nm；束流0.1~50pA；切割线宽≤15nm；镓离子束：成像分辨率3.0nm；束流1pA~100nA；切割线宽≤50nm。气体注入系统：目前已有气源W、Pt。  

　　功能用途：可根据需要对材料进行亚纳米级到微米的精确加工和高分辨成像。利用其配置的氦、氖、镓三离子束和气体注入系统对样品材料按照需求进行高精度、高效、大范围的切割或沉积，并进行原位高分辨成像。 

　　主要附件和功能：利用NPVE软件可以进行刻蚀图案的制作与加工；GIS附件功能可以进行在样品表面精确沉积W、Pt；Plasma Cleaning附件保证样品表面的洁净。