仪器型号：CRX-4K, 4200SCS

　　生产厂家：Lake Shore Cryotronics, Inc; Keithley, Tektronics

　　操作方式：工作人员与用户操作相结合

　　仪器位置： 1号楼121房间

　　服务时间：周一至周五

　　管理人员：陆珩

　　联系方式：010-82543458/82543558/82543593; luheng@mail.ipc.ac.cn

　　仪器简介：该闭环循环制冷探针台无需制冷剂，能够提供5.6K至670K的变温真空环境。变温范围5.6K~670K，精度1×10-4K，稳定度<±0.03K；真空度可达5×10-4 torr；配备探针BeCu 3, 10, 25μm半径，Wu 25μm半径，应用频率可达1GHz；光学显微分辨率达4μm；标配样品台51×32mm2；高温样品台51mm半径；三同轴样品座51×32mm2（适用于对衬底施加电学调制）；电学测量臂4路，0~50MHz电学信号三同轴输出，行程51mm, 25mm, 18mm；光学测量臂1路，350nm~2100nm光学信号SMA输出，行程51mm, 25mm, 18mm；光学激发/探测模块包含：激光光源：450nm (100mW), 532nm (80mW), 660nm (100mW)；溴钨灯源：250W，350nm~2500nm，光斑直径80mm；单色仪：200nm~2500nm，分辨率0.1nm；硅光电探测器：300~1100nm，响应时间<10ns；斩波器：SR540 (Stanford Instruments)；锁相放大器：SR830 (Stanford Instruments)。半导体特征参数测试仪包含：I-V测试模块：0-200V，电压分辨率1mV，电流分辨率0.1fA，4路通道；C-V测试：1kHz-10MHz，测试电容范围1pF-1mF，精度±0.1%；双通道快速I-V模块：电压范围0-40V，电流范围0-800mA，脉冲输出分辨率20ns。

　　功能用途：主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，复杂、高速器件的精密电气测量的研发，为材料以及早期的电子器件的非破坏电学测量提供了精确的可控环境。利用多元灵活的扩展平台，集成光电温度等多参量调控，典型的应用包括样品在整个温度范围内的IV和CV曲线测试，微波测试，光电测试，探索理解载流子微观输运的量子机理。