仪器型号：NTEGRA Solaris，正置和倒置系统
生产厂家：俄罗斯NT-MDT公司
投入使用日期：2013年11月
操作方式：由管理人员操作
仪器位置：理化所1号楼104
服务时间：周一至周五，9:00-17:00
管理人员：李敬
联系方式：010-82543526/82543459；lijingsp@mail.ipc.ac.cn
仪器简介：扫描近场光学显微镜/原子力扫描显微镜是用于样品表面分析的重要工具。扫描近场光学显微镜利用亚波长尺度的探针在样品表面纳米级距离的近场范围内进行扫描成像，分辨率可以突破衍射极限。入射激光波长有450 nm、532 nm、633 nm、785 nm；光电倍增管的波长响应范围200？-800 nm；近场光学成像的分辨率50-100 nm（取决于探针孔径）。
该设备的正置部分具有强大的扫描探针成像功能，可以进行表面形貌成像、相位成像、静电力（EFM）、扫描开尔文（SKM）、扩展电阻成像（SSRM）、扫描电容成像（SCM）、压电响应力扫描模式（PFM）、磁力扫描模式（MFM）、液体中样品扫描、力曲线和表面刻蚀等工作模式。AFM的分辨率：z方向≤0.1nm。
特点与功能：
该设备的特点在于：
（1）可用于大样品的扫描成像。在样品扫描模式下，样品最大不超过40 mm × 40 mm；在探针扫描模式下，样品最大不超过100 mm × 100 mm。
（2）正置部分扫描头装配有100×倍物镜，结合光学CCD，可以在样品上选择感兴趣的微小区域（小于1μm）进行扫描。
该设备的主要功能是进行表面形貌、光学以及电学等特性的表征，广泛应用于光学、物理及材料等领域的分析与测试。