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半导体特征参数测试仪

发表日期: 2015-05-01
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仪器型号:4200-SCS
生产厂家:Keithley, Tektronix
操作方式:工作人员与用户操作相结合
服务时间:周一至周五
管理人员:陆珩
联系方式:010-82543458/82543558/82543593;
luheng@mail.ipc.ac.cn
仪器简介:4200-SCS是一款能进行器件、材料或过程电气特性分析的模块化全集成参数分析仪。利用4路SMU(数字源表测量单元)、4路PA(远端前置放大器)、1路CVU(电容/电压测量单元)、1路PMU(双通道快速I-V测量单元),能够进行直流、交流、超快方面的电学表征、测试。
详情参见:
http://www.keithley.com.cn/products/dcac/currentvoltage/4200scs
资料下载:http://ddl.escience.cn/f/t1Sx

仪器指标:
    4200-SCS主机:前面板具有12’’显示屏,主机具有9个插槽,可安装多个测量测试模块,扩展其功能。
    4路4200-SMU:用于获取待测物的I-V曲线,电压输出和测量范围0至200V;最小电压测量分辨率1µV,最小电压输出分辨率5µV;电流输出和测量范围0至100mA;最小电流测量分辨率100fA,最小电流输出分辨率5pA。
    4路4200-PA:用于连接4200-SMU,扩展其电流量程,提高测量精度。电流输出和测量量程拓展至1pA;最小电流测量分辨率为0.1fA,最小电流输出分辨率为1.5fA。
    1路4210-CVU:用于获取C-V曲线,测量Cp-G,Cp-D,Cs-Rs,Cs-D,R-jx,Z-theta参数。测试信号频率范围1kHz至10MHz;频率精度±0.1%;信号输出电平范围10mV至100mV;直流偏置±30V,差分模式最大输出60V;电容测量范围1pF至1µF。
    1路4225-PMU:用于超快电学脉冲测量。电压输出和测量范围0至40V;电流输出和测量范围0至800mA;电压测量最快脉冲70ns,其中测量时间20ns;电流测量最快脉冲160ns,其中测量时间20ns;最小电流测量量程100uA,精度±(0.5%读数+1µA)。
功能用途:配合
微操作低温探针台,实现材料在变温(5.6K~670K)真空环境下直流、交流、超快脉冲光电、介电物性表征和测量。 

评 论
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