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微操作低温探针台

发表日期: 2015-05-01
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仪器型号:CRX-4K
生产厂家:Lake Shore Cryotronics, Inc
操作方式:工作人员与用户操作相结合
服务时间:周一至周五
管理人员:陆珩
联系方式:010-82543458/82543558/82543593; luheng@mail.ipc.ac.cn
仪器简介:该闭式循环制冷探针台无需制冷剂,能够提供5.6K至670K的变温真空环境。所配备的电学、光学通道,结合光学激发/探测模块、半导体特征参数测试仪,适用于变温条件下对于样品光电、介电等物性的表征、研究。
详情参见:
http://www.lakeshore.com/products/cryogenic-probe-stations/model-crx-4k-cryogenic-probe-station/pages/Overview.aspx
仪器指标:温度范围5.6K~670K,精度1×10-4K,稳定度<±0.03K
                   真空度可达5×10-4 torr
                   配备探针BeCu 3, 10, 25µm半径,Wu 25µm半径,应用频率可达1GHz
                   光学显微分辨率达4µm
                   标配样品台51×32mm2
                   高温样品台51mm半径
                   三同轴样品座51×32mm2(适用于对衬底施加电学调制)
                   电学测量臂4路,0~50MHz电学信号三同轴输出,行程51mm, 25mm, 18mm
                   光学测量臂1路,350nm~2100nm光学信号SMA输出,行程51mm, 25mm, 18mm
功能用途:变温条件下材料光电、介电性能测量。
主要附件:
    光学激发/探测模块
          激光光源:
450nm (100mW), 532nm (80mW), 660nm (100mW)
          溴钨灯源:250W,350nm~2500nm,光斑直径80mm
          单色仪:200nm~2500nm,分辨率0.1nm
          硅光电探测器:300~1100nm,响应时间<10ns
          斩波器:SR540 (Stanford Instruments)
          锁相放大器:SR830 (Stanford Instruments)

     半导体特征参数测试仪

          I-V测试模块:0-200V,电压分辨率1mV,电流分辨率0.1fA,4路通道
          C-V测试:1kHz-10MHz,测试电容范围1pF-1mF,精度±0.1%
         双通道快速I-V模块:电压范围0-40V,电流范围0-800mA,脉冲输出分辨率20ns

评 论
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