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多功能匀胶烘胶机

发表日期: 2014-12-17
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仪器型号:CEE200CBX
生产厂家:美国ABM公司
投入使用日期:2013年7月
操作方式:使用者在培训后自行操作
仪器位置:理化所1号楼103
服务时间:周一至周五,9:00-17:00
管理人员:李敬
联系方式:010-82543526/82543459; lijingsp@mail.ipc.ac.cn
仪器简介:多功能匀胶烘胶机可以进行匀胶和烘胶两个工艺过程。该设备中匀胶机的转速范围:1-12000 rpm,可顺时针、逆时针旋转;设定匀胶的时间设定精度:0.1 sec;转速调节精度<0.2rpm,重复性<0.2rpm;匀胶均匀性< ±0.3%(4英寸范围内)。该设备中烘胶用热板具有三种加热模式:接触式、接近式、真空式;热板温度控制范围:室温-300°C;热板温度控制精度:±1°C;温度均匀性< ±0.3%。触摸屏操作,Windows系统控制。
功能:
匀胶机的转速范围宽、转速精确度高;烘胶热板控温精确且温度场分布均匀。广泛应用于半导体工艺、薄膜工艺中光刻胶的涂覆、烘烤。
评 论
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